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半導體領域未來的水處理方向

更新時間: 2024-01-12
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  在半導體領域,超純水是制造過程中重要的原材料,其電導率、微粒含量、TOC、DO等各項水質指標都必須嚴格控制。超純水的生產過程中,微粒子、電導率和TOC等任何一個指標稍有差異,都可能導致半導體元件生產的合格率下降。因此,對超純水處理技術的持續改進和提升,是半導體制造領域的重要研究方向。
 
  隨著半導體集成度的提高和線寬的縮小,對水質的要求也更為嚴格,未來超純TOC降解技術的發展方向將主要集中在以下幾個方面。
 
  1.更高效降解技術:隨著半導體技術的不斷進步,對超純水中有機物的限制更加嚴格。在許多高科技和實驗室設備中,總有機碳(TOC)會阻礙高純水的生產。因此,需要開發更高效、快速的降解技術,以滿足不斷增長的需求;
 
  2.綠色環保技術:采用環境友好型技術和材料,減少對環境的負擔和影響;
 
  3.智能控制技術:利用先進的傳感器、控制器和人工智能技術,實現超純水TOC降解過程的智能控制和優化管理;
 
  4.多技術聯合應用:將不同技術的優點結合在一起,形成多技術聯合應用方案,以提高降解效率和可靠性。
安力斯-微電子超純水TOC降解系統
 
  其中,對超純水TOC(總有機碳)的降解是關鍵環節之一。安力斯EX-UPW-TOC系列產品是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機碳 (TOC) 進行降解的可靠系統。通過更高185nm輸出強度、實時在線的紫外線強度監測、本地/遠程的智能控制系統,實現嚴格、高效的總有機碳 (TOC) 降解。該設備在超純水制備工藝中,可使超純水TOC降至1ppb以下。
 
  可以期待,高效、智能且環保的TOC降解系統技術將成為未來半導體領域的水處理重要的發展方向,不斷探索新的技術和方法,以滿足不斷增長的需求和提高水質指標,未來將極大地推動半導體制造技術的發展。
 
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